ASML CTO انتظار دارد که لیتوگرافی NA پس از بالا، بسیار گران باشد

به این ترتیب، سفارشات در حال انتظار اولویت هستند و توسعه قوی NA در صورت لزوم می تواند در پشت مشعل قرار گیرد، یا همانطور که ون دن برینک می گوید “غذای امروز بر غذای فردا اولویت دارد.” اسکنرهای NA بالا باید حتی بیشتر از ماشین‌های EUV تشنه انرژی باشند و بنابراین باید حدود دو مگاوات برای مراحل مختلف مصرف کنند. گام بعدی در تکامل لیتوگرافی نیمه هادی جایی است که ASML انتظار دارد همه چیز مشکل ساز شود، زیرا انتظار می رود آنچه که شرکت در حال حاضر hyper-NA می نامد، ساخت و نگهداری آن بسیار گران باشد. اگر هزینه hyper-NA به همان سرعتی که در high-NA دیده‌ایم افزایش یابد، از نظر اقتصادی عملاً غیرممکن خواهد بود.» Van den Brink گفت. ASML امیدوار است بر مشکلات هزینه غلبه کند، اما در حال حاضر این شرکت برنامه ای برای دهه آینده دارد و همه چیز می تواند در طول آن زمان تغییر کند و برخی از موانعی را که اکنون می بینیم برطرف کند.