ASML CTO انتظار دارد که لیتوگرافی NA پس از بالا، بسیار گران باشد


در مصاحبه‌ای با Bits & Chips، مارتین ون دن برینک، مدیر ارشد فناوری ASML گفت که او معتقد است که ممکن است در آینده‌ای نه چندان دور به پایان راه فناوری لیتوگرافی نیمه‌رسانای فعلی برسیم. با این حال، در حال حاضر ASML در حال اجرای نقشه راه خود است و بعد از EUV مرحله بعدی NA بالا یا باز شدن با ارزش عددی بالا است و ASML در حال برنامه ریزی است تا اولین اسکنر تحقیقاتی NA بالا خود را برای سرمایه گذاری مشترک تحقیق و توسعه با Imec در سال 2023 آماده کند. طبق برنامه پیش می رود، ASML سپس قصد دارد اولین ماشین های تحقیق و توسعه را در سال 2024 به مشتریان خود تحویل دهد و به دنبال آن تولید حجمی را با استفاده از ماشین های NA بالا در حدود سال 2025 انجام دهد. ون دن برینک خاطرنشان می کند که به دلیل عدم قطعیت های زنجیره تامین فعلی می تواند بر زمان‌بندی، در ترکیب با این واقعیت که ASML تقاضای زیادی برای ماشین‌های EUV خود دارد و این دو فناوری اجزای بسیاری را به اشتراک می‌گذارند.

به این ترتیب، سفارشات در حال انتظار اولویت هستند و توسعه قوی NA در صورت لزوم می تواند در پشت مشعل قرار گیرد، یا همانطور که ون دن برینک می گوید “غذای امروز بر غذای فردا اولویت دارد.” اسکنرهای NA بالا باید حتی بیشتر از ماشین‌های EUV تشنه انرژی باشند و بنابراین باید حدود دو مگاوات برای مراحل مختلف مصرف کنند. گام بعدی در تکامل لیتوگرافی نیمه هادی جایی است که ASML انتظار دارد همه چیز مشکل ساز شود، زیرا انتظار می رود آنچه که شرکت در حال حاضر hyper-NA می نامد، ساخت و نگهداری آن بسیار گران باشد. اگر هزینه hyper-NA به همان سرعتی که در high-NA دیده‌ایم افزایش یابد، از نظر اقتصادی عملاً غیرممکن خواهد بود.» Van den Brink گفت. ASML امیدوار است بر مشکلات هزینه غلبه کند، اما در حال حاضر این شرکت برنامه ای برای دهه آینده دارد و همه چیز می تواند در طول آن زمان تغییر کند و برخی از موانعی را که اکنون می بینیم برطرف کند.



مرجع اخبار سخت افزار کامپیوترایران